大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』
【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
- 企業:株式会社ダイヘン
- 価格:応相談
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【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
半導体のウェーハ製造工程、工程間ウェハーキャリア(FOUP等)の自動搬送問題を解決!
半導体業界向けに設計された全方向複合移動ロボットで、様々な搬送体の自動上下料ニーズに対応可能。 自社開発の第4.5世代コントローラを核とした一体型電気システムおよびメカナムホイールによる全方向駆動方式を採用し、ロボットの電気性能と多方向移動能力を向上させ、狭小スペースでの高安定性移動を実現します。 レーザーSLAMとQRコード融合による複合ナビゲーション技術を採用し、対角配置の双レーダー、側面懸空レーダー、前方ビジョンセンサーを搭載することで360°の立体空間検知を可能とし、安全性を向上させています。 障害物回避検知とロボットアームの連動により突発状況に即時対応し、視覚・超音波の組み合わせで高さ5cm以上の低い障害物も検知可能です。
月光AMR GK2000Z
テクトレ株式会社では2000kg以上も搬送可能なAMRを取り扱っております。 300kgから2000kg、さらには~数十トンまでAMR・AGF問わずご提案いたします。 AMR GKシリーズ 通常AMR 400kg~1200kg GKZシリーズ 全方向移動AMR 400kg~2000kg HMシリーズ 高荷重2000kg以上 AMR-EXシリーズ 防爆対応モデル500kg~ AGF 月光AGF https://gekkou.ai/products/folklifts/ 月光製品のAGFもご相談ください。 狭小スペースでの運用、屋外搬送や防水仕様、冷凍仕様等、特殊搬送もご相談ください。